Espectroscopia de electrões de Auger

A espectroscopia de electrões de Auger— AES (Auger Electron Spectroscopy) é uma técnica analítica de superfícies que utiliza um feixe de electrões como fonte de excitação. Os átomos excitados, podem relaxar através da emissão de electrões pelo processo de Auger. A técnica AES mede a energia dos todos os electrões emitidos, sendo que os emitidos pelo processo de Auger são característicos dos elementos presente na superfície da amostra.

Microscopia Auger de Varrimento (SAM— Scanning Auger Microscopy)

Esta técnica retira vantagem da facilidade com que um feixe de electrões pode ser focado e deflectido. Permite obter imagens dos elementos da camada superficial de uma amostra condutora. Trata-se de uma técnica que é a combinação de SEM (Scannig Electron Microscopy) com AES. Um feixe de electrões é varrido sobre a amostra e a intensidade dos electrões de Auger emitidos é medida pelo analisador de energia.

Em associação com uma fonte de iões para erosão da superfície, é possível realizar análises em profundidade.

Algumas aplicações:

• Análise de partículas
• Análise de defeitos
• Análise em profundidade

Vantagens e limitações:

• Excelente resolução lateral e em profundidade
• Boa sensibilidade aos elementos da superfície
• Fraca informação química
• Limite de detecção ≈1%at
• Difícil a análise de não condutores